先端産業で重要な役割を果たす微小流量計
微小流量計は遺伝子解析や医薬品開発をはじめ、半導体製造やインクジェット技術など、さまざまな先端産業分野で重要な役割を果たしています。
流体の計測はガスや水道などでも日常的に行なわれていますが、流量が微小になるほど粘性や表面張力の影響を受けやすく、計測には独自の高度な技術が必要とされます。
また流体そのものが貴重な試料である場合には、計測によって生じる無駄を少しでも減らさなければなりません。
現在実用化されている計測法には、容積式・加圧式・超音波式など多くの種類があります。
サーパス工業の開発したタイムオブフライト式微小流量計は、熱マーカーの使用で精度を向上させ、超音波式の3分の1以下の微小流量を計測できるようになっています。
また装置自体が小型化され、液体の計測開始および終了時の無駄を防ぐ工夫も施されています。
素材には合成樹脂と石英ガラスを使用し、金属製の機器では計測できない液体にも適応しているのが特徴です。
